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Responsable: Mª del Carmen Coya Párraga Dirección: C/ Tulipán s/n. Móstoles 28933 Departamento: Departamento de Tecnología Electrónica Teléfono: 916647470 Email: carmen.coya@urjc.es |
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Ensayos/Servicios que ofrece
LABCADIO oferta a la comunidad científicas y empresas
- Servicio de diseño y fabricación de patrones por nanolitografía sin máscara basada en microdescarga eléctrica escalable a 10 x10 cm.
- Servicio de microlitografía eléctrica selectiva sin máscara para ánodo y cátodo en dispositivos multicapa escalable a 10 x10 cm. Ancho de línea límite 15 um.
- Servicio de perfilometría de contacto para evaluar espesores de láminas delgadas (>5 nm).
- Servicio de caracterización 3D del relieve superficial en áreas de hasta 5.5 x 5.5 cm mediante perfilometría de contacto.
- Servicio de caracterización de la radiancia espectral (luminancia) en el rango visible, y colorimetría (coordenadas CIE de color).
- Caracterización eléctrica de I-Vs en dispositivos electrónicos en el rango 77-400K.
LABCADIO se crea con los siguientes objetivos:
- Apoyo a la docencia: Realización de las prácticas y proyectos fin de carrera de los alumnos de las diferentes titulaciones que lo soliciten.
- Apoyo a la investigación.
- Servicios técnico estratégicos a sectores privados, empresas y otras universidades.
Personal
Directora Científica y del Laboratorio: Prof. Mª del Carmen Coya Párraga (carmen.coya@urjc.es)
Director Técnico: Prof. Angel Luis Álvarez Castillo
Equipos disponibles
- Infraestructuras y equipos asociados a LABCADIO:
- Sala blanca de 25 m2, clase 10000.
- Vitrina de flujo laminar vertical TDI, clase 100, FLSR 150.
- Amplificador TREK hasta 500V.
- Generador de funciones arbitrarias TTI TG1010A
- Osciloscopio digital DL6154 (1.5 GHz, 10 Gs/s) de Yokogawa.
- Multímetro digital programable YOKOGAWA 61/2dig.
- Analizador de parámetros de semiconductor Agilent4155C generador de pulsos SMU Agilent 41501B.
- Criostato de baño de LN2Helitran LT-30M, controlador de temperatura 77-400K Lake Shore 331.
- Placas calefactoras
- Perfilómetro de contacto AlphaStep D120 (KLA-Tencor Instruments)
- Estereomicroscopio MOTIC SMZ 168 (320X) con cámara digital de 5 Mp
- Nano-litografía seca: Sistema de nanolitografía por arco eléctrico con micro y nanoposicionador piezoeléctrico XY HERA PiMICOS piezo-stage (rango 100 x 100 um, sobre montura extensible a 10 x 10 cm), y nanoposicionador Z LISA PiMICOS piezo-stage (rango de 38 um, 0.05 nm resolución, sobre montura extensible a 3 cm).
- Espectrorradiómetro Konica Minolta CS-2000 en rango visible
